四（甲乙胺）鉿

關鍵詞：

MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

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產品描述

中文名	化學式	CAS號	英文簡稱	英文名	類別
四（甲乙胺）鉿	C12H32HfN4	352535-01-4	TEMAH	Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1)	前驅體

四（甲乙胺）鉿（TEMAH）
化學式	C12H32HfN4
中文名稱	四（甲乙胺）鉿
英文名稱	Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1)
CAS No.	352535-01-4
分子量	410.9
應用	主要用于CVD和ALD的前驅體材料，用于沉積鉿的前驅物，制備鉿氧化物薄膜；可以用于COMS和下一代DRAM的高k絕緣材料，廣泛應用于45nm下直至7nm技術等先進CMOS集成電路技術中。其應用于新型阻變/憶阻器件(RRAM)研究中，可展現(xiàn)良好的微縮特性，還可在10nm尺度下保持良好的阻變特性；在鐵電存儲器件(FeRAM)、鐵電場效應晶體管(FeFET)、鐵電負電容晶體管(NC-FET)、鐵電隧道結等新功能器件制造方面表現(xiàn)出良好的微縮特性，為類腦型神經形態(tài)計算等變革性技術研究與發(fā)展提供新的途徑。還可替代二氧化硅，作為金屬-氧化物-半導體場效應晶體管(MOSFET)的柵極。
產品規(guī)格	6N（99.9999%）